Comparer XY

Apr 02, 2023

Ces systèmes peuvent être configurés et fournis en tant que composants individuels ou en tant que systèmes de mouvement intégrés complets avec des interfaces personnalisées, des solutions de gestion des câbles, des traversées de vide et des structures intégrées en granit et en aluminium optimisées pour les applications.

Article de | PI

Les platines XY-Thêta à 3 axes de haute précision (assemblages XYT) sont essentielles dans de nombreux processus de test et de production liés à l'usinage de précision au laser, aux tests et à la production de semi-conducteurs et de photonique et à la fabrication de dispositifs médicaux. PI propose un ensemble de solutions large et approfondie pour les systèmes de mouvement XY-thêta intégrés avec des contrôleurs de mouvement industriels. Ces systèmes peuvent être configurés et fournis en tant que composants individuels ou en tant que systèmes de mouvement intégrés complets avec des interfaces personnalisées, des solutions de gestion des câbles, des traversées de vide et des structures intégrées en granit et en aluminium optimisées pour les applications.

Un assemblage d'étage XY-Theta à base de granit ultra-haute performance basé sur un étage XY à palier à air planaire A-322 avec une table rotative à palier à air.

Assemblage d'étage XY-thêta compact à base de palier à air. Voir l'étage de palier à air A-311 XY en mouvement

Les équipes d'ingénieurs de PI possèdent une expertise et une expérience approfondies de la technologie des paliers à air et des systèmes de platines à mouvement multi-axes. Les performances ultra-précises des systèmes de positionnement à palier à air ainsi que leur nature inusable en font des solutions idéales pour les applications de semi-conducteurs impliquant un mouvement linéaire et rotatif combiné.

Platine XY-Thêta personnalisée basée sur la platine à roulement à air XY à longue course A-311 et la platine rotative A-621 pour une rotation thêta-Z à 360°

Dans l'image ci-dessus, une table de mouvement XY planaire à roulement à air A-311 personnalisée et à profil bas est combinée à une platine de rotation à roulement à air de haute précision de la série A-621 dans un assemblage XYT de précision.

Vidéo : Platine à palier à air XY-Theta basée sur des platines planes XY à profil bas (modèle A-311) et à palier à air à entraînement direct Theta-Z (modèle A-623). Cette platine 3 axes compacte est bien adaptée aux applications laser hautes performances, de test et de métrologie.

Lorsque davantage de degrés de liberté sont nécessaires, les étages XY peuvent être combinés avec un module de mouvement Z-Tip-Tilt (ZTT) à profil bas pour former des systèmes à 5 axes tels que l'étage de plaquette 5-DOF pour les applications de métrologie des semi-conducteurs, illustré dans la vidéo ci-dessous. Le module ZTT peut également être ajouté aux platines XY-Theta pour les applications de mouvement 6DOF.

Vidéo : Platine de métrologie wafer 5 axes avec paliers à air

Les assemblages de platines 3 axes PI XY-Theta utilisent des composants ACS Industrial Motion Control. Les contrôleurs PI basés sur ACS utilisent des configurations optimisées pour les meilleures performances des applications. Cela inclut des systèmes préconfigurés avec des informations de paramètres système optimisées prêtes à l'emploi, y compris le déclenchement d'appareils synchronisés avec le mouvement via le matériel du module de commande laser (LCM) / interface de commande laser (LCI) ainsi que des fonctions de sécurité fonctionnelles telles que l'arrêt sécurisé du couple.

Le module de contrôle laser ACS

La fonctionnalité Safe Torque Off (STO) certifiée PL e / SIL 3 offre aux constructeurs de machines un moyen simple et économique de mettre en œuvre la sécurité des machines. STO est disponible dans certains contrôleurs de mouvement PI.

Dans de nombreuses applications, la compacité est essentielle pour l'intégration des outils. La platine linéaire à profil bas V-508 / platine rotative à profil bas V-610, système de mouvement multi-axes à entraînement direct, est un exemple d'assemblage 3 axes léger et hautes performances qui est extrêmement bas, très compact et également technologiquement flexible pour répondre de manière optimale à la fois aux pas et aux réglages rapides ainsi qu'aux applications de numérisation coordonnées fluides avec des tolérances d'erreur allant du nanomètre au micron.

Assemblage d'étage XY-Theta avec une ouverture claire pour le trajet de la lumière, offrant une course de 25x80 mm. L'ensemble se compose de deux platines de translation linéaire compactes V-508 et d'une platine rotative à entraînement direct V-610.

Les applications d'automatisation industrielle à haut débit de mouvement de précision impliquent généralement des mouvements répétitifs avec des charges et des accélérations plus élevées. Ici, l'ensemble d'étage d'automatisation de précision de la série V-817 avec une table rotative à entraînement direct, illustré ci-dessus, fournit une accélération élevée et un mouvement à cycle de service élevé avec des moteurs linéaires triphasés efficaces et des moteurs couple offrant une force continue et de pointe élevée. La construction et la conception d'étages rigides utilisant des alliages d'aluminium de qualité aéronautique offrent une rigidité permettant de gérer des impulsions élevées sur de courtes durées avec une précision appropriée. Des roulements de précision pour camions et rails sont mis en œuvre pour les caractéristiques de charge et les longues durées de vie. L'étage rotatif intégré à entraînement direct à grande vitesse avec un couple de sortie élevé est utilisé pour des performances dynamiques de stabilisation et de balayage.

Les systèmes d'automatisation PI XY-Theta sont mis à l'échelle en fonction de l'application à l'aide de critères de déplacement, de performances, de charge et d'espace. Les solutions présentées ici sont un petit aperçu des options disponibles pour traiter le mouvement XYT et montrent la diversité des éléments de moteur, de roulement, d'encodeur et de conception qui ont contribué à faire de PI le leader du marché du mouvement de précision.

Assemblage d'étage d'automatisation 3 axes XY-Theta à entraînement direct à charge élevée et à grande vitesse. Plus d'informations sur la famille d'étages de translation linéaire V-817 et ses contrôleurs de mouvement

Assemblage d'étage XYT à profil bas basé sur V-508/V-610. Les performances de balayage d'une platine V-508 XY sont présentées dans une vidéo ici.

Les solutions d'étage XY-Theta présentées dans cet article représentent un large éventail de technologies exclusives développées en interne chez PI, y compris des moteurs, des encodeurs, des roulements ainsi que des matériaux et une conception. PI est un leader mondial du contrôle de mouvement de précision multi-axes, pionnier des étages linéaires de haute précision, des étages rotatifs et des étages multi-axes pour de nombreuses applications de haute technologie. Nous améliorons continuellement nos systèmes de mouvement multi-axes XY-Theta de haute précision et avons aidé de nombreux clients dans la fabrication de semi-conducteurs, le traitement des matériaux laser et la fabrication de dispositifs médicaux à atteindre un débit et une qualité plus élevés.

PI est une société privée qui conçoit et fabrique des systèmes de mouvement et d'automatisation de précision de classe mondiale, notamment des paliers à air, des hexapodes et des entraînements piézoélectriques sur des sites en Amérique du Nord, en Europe et en Asie. L'entreprise a été fondée il y a 5 décennies et emploie aujourd'hui plus de 1300 personnes dans le monde. Les clients de PI sont des chefs de file des industries de haute technologie et des instituts de recherche dans des domaines tels que la photonique, les sciences de la vie, les semi-conducteurs et l'aérospatiale.

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