Platine piézo pour les applications de mise au point rapide et de mise au point automatique

Jan 05, 2024

La gamme de positionneurs d'objectif de PI, conçue pour balayer et positionner des objectifs avec une résolution inférieure au nm à une bande passante élevée, s'agrandit avec une nouvelle génération d'étages piézo Z-focus - la famille de produits d'étages de flexion piézo PIFOC P-725. Disponible en 3 plages de déplacement de 100 µm, 400 µm et un leader de l'industrie de 800 µm, une mise au point rapide haute performance avec une précision nanométrique est obtenue pour des applications telles que la microscopie à super résolution, la métrologie des plaquettes et le traitement des matériaux au laser. En plus d'offrir des performances supérieures, les platines P-725 de nouvelle génération sont également plus faciles à installer, plus compactes et permettent plusieurs unités dans une tourelle de microscope.

Équipé de capteurs de mesure directe pour une linéarité et une stabilité maximales, l'entraînement piézo sans frottement assure une réponse rapide, une rigidité élevée et un temps de stabilisation rapide de quelques millisecondes. Le système de guidage de flexion sans jeu optimisé par ordinateur améliore la répétabilité et la stabilité de la mise au point.

Étages de mise au point guidés par flexion piézo-électrique vs bobine acoustique - étages de mise au point guidés par rouleaux croisés

PI fournit les deux solutions, elles répondent à des exigences similaires et parfois différentes. Les étages de focalisation guidés par piézo-flexion sont plus compacts, offrent une meilleure rectitude, planéité et des erreurs angulaires réduites, communément appelées précision de guidage. Les guides de flexion sont également sans frottement et sans usure. Cependant, les plages de mouvement sont limitées. Pour des plages de déplacement plus longues, des platines à bobine mobile avec roulements à rouleaux croisés sont une option, comme la platine de mise au point V-308 de PI avec une course verticale de 7 mm et un contrepoids réglable par l'utilisateur. Une autre option pour un déplacement plus long, avec un système de guidage sans frottement, sans usure et très précis est la petite glissière à roulement à air entraînée par un moteur à bobine mobile A-142 récemment introduite.

Contrôleur numérique avec mise au point rapide et gel et balayages automatisés

En plus des étages de mise au point, le nouveau contrôleur / pilote d'asservissement piézo numérique compact E-709 a été conçu pour fournir un taux d'échantillonnage de 20 kHz, deux fois la puissance de son prédécesseur et plusieurs fois la résolution. Des fonctionnalités avancées telles que la linéarisation de 4e ordre pour une qualité d'image améliorée, le suivi à grande vitesse et la capacité unique de mise au point et de gel rapides de PI, où l'unité peut être commutée sans à-coups d'un capteur externe (mise au point) au capteur de position intégré dans l'étage de mise au point permettant des mouvements précis, calibrés et stables par rapport au plan focal. Un package logiciel complet est inclus : pilotes pour LabVIEW, bibliothèques dynamiques pour Windows et Linux, MATLAB, MetaMorph, µManager, etc. Les interfaces incluent USB, SPI, RS-232 et analogique. Les fonctions prises en charge incluent le générateur d'ondes, l'enregistreur de données, le zéro automatique et les E/S de déclenchement.

Pour plus d'informations : www.physikinstrumente.com

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